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共燒陶瓷技術(shù)是一種對致密且厚度精確的生陶瓷帶進(jìn)行沖孔、填孔、圖形印制等,將各層疊壓并燒結(jié)成型的技術(shù)。根據(jù)使用材料和燒結(jié)溫度的不同,可分為高溫共燒陶瓷技術(shù)和低溫共燒陶瓷技術(shù)。
兩者在某些工藝細(xì)節(jié)上有所差異,但均需要經(jīng)過球磨混料、流延、切片、沖孔、填孔、圖形印制、疊片、壓合、熱切割、燒結(jié)、燒后處理、成品分離等流程,如圖:
共燒陶瓷技術(shù)屬于非連續(xù)的生產(chǎn)工藝模式。在制作中,基板中的每層都能夠被單獨(dú)地制作、檢測、修補(bǔ)和替換,使基板的成品品質(zhì)不受具體層數(shù)的影響,從而更有利地提升基板的三維布線密度。
在現(xiàn)階段,高溫共燒陶瓷技術(shù)比低溫共燒陶瓷技術(shù)更成熟,其材料成本較低,燒結(jié)溫度為1400℃~1650℃,制造出的產(chǎn)品具備機(jī)械強(qiáng)度高、導(dǎo)熱系數(shù)高、抗腐蝕、耐氧化等優(yōu)點(diǎn), 用于大功率、高可靠性集成電路或微電路領(lǐng)域。
低溫共燒陶瓷技術(shù)是對高溫共燒陶瓷技術(shù)的一種改進(jìn), 其制造成本相對較低,產(chǎn)品具備體積小、損耗低、高頻特性優(yōu)良等優(yōu)點(diǎn),用于通信及射頻電路、 雷達(dá)、DC/DC 電源、高能存儲領(lǐng)域。
高溫共燒陶瓷技術(shù)與低溫共燒陶瓷技術(shù)對比
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